尺寸圖

標準規格

（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10-6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規格。
另外，生產規格條件是初級側小于300kPa，次級側向大氣開放。
有關壓力條件，請另行咨詢。