（* 1）應(yīng)為干燥氣體，清潔氣體，無(wú)腐蝕性成分，灰塵，霧氣等。

（* 2）使用專用軟件，可以更改氣體類型或?qū)M量程范圍更改為指定滿量程（FS）的30％至100％（**CO2的30％至80％） 。

（* 3）流量校準(zhǔn)單元SCCM和SLM是在0°C和1個(gè)大氣壓下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。

（* 4）校準(zhǔn)氣體：保證N2。

（* 5）校準(zhǔn)氣體：N2，流量范圍精度（*大滿量程）。

（* 6）工作壓差可能因規(guī)格而異。

（* 7）不含滲透。
長(zhǎng)期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

（* 8）如需其他接頭，請(qǐng)另行詢問(wèn)。

（* 9）沒(méi)有配件的重量。